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產品服務
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產品名稱 |
牌號 |
用途 |
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負性光刻膠剝離液 |
ZX PS-650 |
用于負性光刻膠濕法剝離工藝 |
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墨點去除液 |
ZX IR-659 |
用于探測墨點的清洗去除工藝 |
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Post Etch/ash remover Al |
ZX R-655 |
用于鋁工藝布線干法蝕刻后，線路側壁的清洗工藝 |
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Post Etch/ash remover Cu |
ZX R-656 |
用于銅工藝干法蝕刻后，雙大馬士革溝槽的清洗工藝 |
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Post CMP cleaner |
ZX C-657 |
用于化學機械平坦化工藝后，晶圓表面的清洗工藝 |
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