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產品名稱 牌號 用途
負性光刻膠剝離液 ZX PS-650 用于負性光刻膠濕法剝離工藝
墨點去除液 ZX IR-659 用于探測墨點的清洗去除工藝
Post Etch/ash remover Al ZX R-655 用于鋁工藝布線干法蝕刻后,線路側壁的清洗工藝
Post Etch/ash remover Cu ZX R-656 用于銅工藝干法蝕刻后,雙大馬士革溝槽的清洗工藝
Post CMP cleaner ZX C-657 用于化學機械平坦化工藝后,晶圓表面的清洗工藝

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